群馬大学重点支援プロジェクトG3の研究チームが、日本機械学会第14回マイクロ?ナノ工学シンポジウムで優秀講演論文表彰を受賞しました
日本機械学会マイクロ?ナノ工学部門主催第14回マイクロ?ナノ工学シンポジウム（2023年11月6日～8日、熊本城ホール）において、理工学部と情報学部が協力する群馬大学重点支援プロジェクトG3の研究チーム「未来社会を切り拓く大面積ハイスループット３Ｄ微細加工技術とその応用」が優秀講演論文表彰を受賞しました。
受賞論文の題目は、「プリズムアシスト3Dリソグラフィ法の加工構造角度の評価」であり、理工学府知能機械創製理工学教育プログラム?陳煜非さん、理工学府?田中有弥准教授、情報学部?奥寛雅教授、理工学府?鈴木孝明教授の連名受賞です。
同研究チームの「プリズムアシスト3Dリソグラフィ」は、従来の機械?精密加工と半導体製造技術の間の空白領域を埋める製造技術として期待されており、超小型の光部品、センサ、バイオチップ、半導体、Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)などの開発が進んでいます。本技術を用いた様々な応用展開が進む中、特に研究プロジェクトで中心となる研究として、理工学部の微細加工技術と情報学部のダイナミックイメージコントロールを組み合わせた、微小再帰性反射構造の研究開発を実施中です。関連する基本技術の特許出願を完了し、社会実装に向けた取り組みを加速しています。
これらの研究は、群馬大学重点支援プロジェクトG3「未来社会を切り拓く大面積ハイスループット３Ｄ微細加工技術とその応用」、JST戦略的創造研究推進事業CREST「MEMS振動発電を用いたパーペチュアル?エレクトロニクス」、日本学術振興会科学研究費?基盤研究(B)「23H01363」等の助成を受けて得られた研究成果の一部です。
左から:奥教授、鈴木教授、陳さん、田中准教授
関連リンク
理工学部?マイクロナノ工学研究室（鈴木孝明教授?田中有弥准教授）の研究室ＨＰはこちら
情報学部?奥研究室（奥寛雅教授）の研究室ＨＰはこちら
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